MKS真空压力计无信号输出故障排查技巧
一、故障典型表现
MKS真空压力计（如Baratron电容式、冷阴极电离式等型号）无信号输出时，表现为：控制系统（如PLC、上位机）无法接收压力数据（显示“无信号”“通讯超时”），或压力计指示灯异常（如电源灯亮但信号输出端口无电压/电流）。该故障直接影响真空工艺的实时监控与控制精度。
1. 基础供电检查
无信号输出的首要原因是供电异常。MKS压力计通常需特定直流电压（如15V DC、24V DC，具体参考型号手册）：
用万用表测量压力计电源输入端子电压（需与手册标定值一致，偏差＜±5%），若电压过低/无电压，排查电源模块或供电线缆（检查线缆是否断路、接头是否氧化松动）；
观察压力计电源指示灯（若有）——若指示灯不亮，基本确认供电故障；若指示灯亮但无信号，进入下一步排查。
2. 信号输出端口检测
物理连接：检查压力计信号输出端口（如模拟量输出为0-10V/4-20mA，数字量为RS-232/485）与控制系统接口的连接线缆（如BNC、DB9），确认插头锁紧到位，针脚无弯曲/氧化（可用电子清洁剂清洁）；
通断测试：用万用表测量信号线通断（如4-20mA输出，正负极导通且无短路；0-10V输出，空载时电压为0V，加载后随压力变化），若线缆断路需更换；
屏蔽层处理：若为数字信号（如RS-485），检查屏蔽层是否单端接地（接压力计外壳或控制系统机壳），避免地环路干扰。
3. 压力计内部故障排查
传感器/敏感元件：MKS不同类型压力计的核心元件易损——电容式压力计的极板可能因真空环境中的颗粒沉积导致绝缘下降；冷阴极电离规的灯丝可能因长时间使用烧断（观察是否有灯丝电压但无离子流信号）；
电路板故障：检查压力计内部电路板（如信号调理板）是否有元件烧蚀（如电容鼓包、电阻烧黑）、焊点脱焊（尤其信号输出引脚），此类问题通常需返厂维修或更换主板；
参数设置：部分型号需通过前面板或软件配置信号输出范围（如4-20mA对应0-1000mTorr），若参数错误可能导致“无有效信号输出”假象（需恢复默认设置或重新校准）。
4. 外部干扰与负载匹配
若信号线与强电线路（如真空泵电源线）平行敷设，电磁干扰可能导致信号畸变（表现为输出值乱跳或无输出），需将信号线单独穿管或使用屏蔽双绞线；
模拟量输出（如4-20mA）需匹配控制系统输入阻抗（如250Ω电阻用于2-10V转换），若负载阻抗过小可能导致信号失真。
转载请注明出处：上海仰光电子科技专业伺服驱动器维修,伺服电机维修
本文链接：http://www.shygdz.com/fuwu/Services_Show36768.htm
伺服驱动器维修 伺服电机维修 触摸屏维修 变频器维修
联系方式：
电话：021-50157782
手机：13817011982 微信同号
邮箱：shygdzi@163.com
联系人：张工
网址：http://www.shygdz.com
【 我们确保修好测试好给客户！！！！】
上一篇：一招教你搞定，松下变频器运行中频繁停机的问题
下一篇：西门子驱动器F0022欠压故障维修指南
