英国Quorum离子溅射仪Q150V S PLUS常见故障的处理技巧
1.使用一段时间后，溅射电流变小：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查，若是靶材变色或破裂，要对靶材进行更换；若是有油污，则用无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空；
2.在使用一段时间以后，有着过低的真空：检查溅射室中或管道内是否有油，可以使用汽油进行清洗；
3.溅射电流不稳定忽高忽低：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整；
4.过低的真空：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧；
5.真空泵出现反油现象：机械真空泵长期保持极限真空。
离子溅射仪常见故障，分以下四种：
1、故障现象：使用一段时间后，溅射电流变小
解决方法：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换，后者被油蒸汽污染，通过无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空。
2、故障现象：在使用一段时间以后，有着过低的真空。
解决方法：对溅射室中或管道内是否有油进行检查，能够使用汽油进行清洗。
3、故障现象：溅射电流不稳定忽高忽低
解决方法：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整。
4、故障现象：有着过低的真空
解决方法：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。
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