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德国Diener等离子表面处理仪Femto真空泵过载维修

发布者:YX    来源:上海仰光电子科技有限公司     发布时间:2023-8-4

德国Diener等离子表面处理仪Femto真空泵过载维修

德国Diener等离子表面处理仪Femto真空泵过载维修

一、真空泵过载解决

1、出现此情况请首先观察系统参数有无变化,设备突然断电会引起系统参数归零,导致设备出现此类报警;

2、如系统参数无变化,请确认热继电器是否自动保护,按复位键,然后启动真空发生系统。如没有自动保护,请检查电气线路有无断路或短路情况;

3、检查导线是否有断路或短路情况。

二、真空泵机械故障解决

1、所处理产品有严重渗气情况,真空倒计时时间设备较短,无法在设备时间内抽到背底真空;

2、检查真空门是否关到位;

3、逐级检查真空系统中各连接点,看是否有管道连接不良或损坏;

4、真空泵故障,需检查保养真空泵。

 

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