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通快Trump霍廷格射频维修TruPlasma DC3030 高频电源修理快

发布者:变频器维修部    来源:上海仰光电子工程部     发布时间:2021-5-20

通快Trump霍廷格射频维修TruPlasma DC3030 高频电源修理快

  通快霍廷各射频电源维修常见故障如下:

供电电源的噪声干扰
射频电路对于电源噪声相当敏感,尤其是对毛刺电压和其他高频谐波。微控制器会在每个内部时钟周期内短时间突然吸入大部分电流,这是由于现代微控制器都采用CMOS工艺制造。

因此,假设一个微控制器以lMHz的内部时钟频率运行,它将以此频率从电源提取电流。

如果不采取合适的电源去耦,必将引起电源线上的电压毛刺。如果这些电压毛刺到达电路RF部分的电源引脚,严重时可能导致工作失效。

不合理的地线
如果RF电路的地线处理不当,可能产生一些奇怪的现象。对于数字电路设计,即使没有地线层,大多数数字电路功能也表现良好。而在RF频段,即使一根很短的地线也会如电感器一样作用。

粗略地计算,每毫米长度的电感量约为l nH,433 MHz时10 toni PCB线路的感抗约27Ω。如果不采用地线层,大多数地线将会较长,电路将无法具有设计的特性。

射频激光管不出光?
在水路通畅激光电源正常启动的情况下首先测激光电源直流48v是否正常;激光管25针插件的 4脚和13脚的导通情况能导通表明水保护信号正常,不能导通检查水保护;测7脚和20脚的电压情况不按预调或者开始时直流电压在4到5V左右,按预调或开始在1到3v左右为正常信号(低电平导通)。若水、电源和这两个信号都正常一般可以判断是激光管故障。若信号不正常则说明是板卡问题或者是电路问题。

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1、半导体制造、LED光电材料、太阳能、平板显示、汽车电子等行业的离子注入、扩散、光刻、PVD物理气相沉积,CVD 化学气相沉积,PECVD等离子增强化学气象沉积,溅射薄膜、蚀刻 等工艺。
 

2、 HV PSU高压电源、DC PSU大功率直流电源、RF Generator射频电源、MICROWAVE POWER SOURCEAE微波发生器、触摸屏人机界面、PCB板,涉及设备品牌有AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、DAIHEN、SEREN、Glassman、 


      Spellman、LAMBDA、SORENSEN、Delta、AMAT、Nikon、Varian、Lam、Nissin、ASML等。


3、维修机台涉及Lam9400、Lam9100、Varian E500,、Varian E200、AMAT PI9500、PI9200、XR80,  Nissin 

       Exceed2000AH、Axcelis/EATON NV6200、PVD、CVD、PECVD、溅射镀膜设备等



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