英福康INFICON氦质谱检漏仪质谱室故障及处理
1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。
2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦质谱检漏仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修ZX处理。
氦质谱检漏仪检测开始时出现的故障
1、检漏键无效(绿色指示灯亮)
检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。
2、检漏键无效(指示灯不亮)
I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。
氦质谱检漏仪自动校准结束时出现的故障
自动校准失败(灯丝亮)红色校准灯亮。首先检查自动校准设置，开关S1是否处于OFF位置，所设置的漏率值和标准漏孔值是否一致。温度传感器是否接上;其次是检查灵敏度，清洗质谱室(如果用外部校准漏孔检查显示值和实际值一致，氦质谱检漏仪也可使用)。
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