德国普发真空氦质谱检漏仪ASM 340分子泵故障灯亮检修
1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作
有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。
2、分子泵加速指示灯不亮
电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。
3、分子泵故障灯亮
检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障。
4、检漏键无效(绿色指示灯亮)
检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。
5、检漏键无效(指示灯不亮)
I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。
氦质谱检漏仪自动校准结束时出现的故障
自动校准失败(灯丝亮)红色校准灯亮。首先检查自动校准设置，开关S1是否处于OFF位置，所设置的漏率值和标准漏孔值是否一致。温度传感器是否接上;其次是检查灵敏度，清洗质谱室(如果用外部校准漏孔检查显示值和实际值一致，氦质谱检漏仪也可使用)。
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