日立HITACHI离子溅射仪抽不上真空故障原因检查维修方法
一，离子溅射仪抽不上真空的故障
1.首先检查真空泵排除基本可控情况，听真空泵的声音是否异常，如无异常检查真空泵引线和电磁阀引线的插头处是否连接正常，插头里的排针有误脱落或者接触不良。检查真空泵的与真空管道的连接，管道应于真空泵的进气口连接，不要误接到排气口。
2.检查上盖和玻璃钟罩是否放端正，玻璃钟罩和下底盘的边缘基本平齐，上盖和钟罩不能有错位。真空管道与仪器接口处的卡箍或者喉箍是否卡紧。开机，如果真空表还是没有走动，请立即关机。继续做排除工作。
3.用kF16的盲堵配合KF16的橡胶圈（没有可用橡皮塞代替），将仪器下底盘的真空排气口堵住，开机，观察真空表是否走动。
二、真空表打表
1.真空表向左或者向右打表，可以拆开前面板，找到一个白色8芯插座，看插座是否接触不良。如果仍然打表，可将真空规管的黑色插头拔掉，看是否打表。
三，真空忽高忽低
1.将真空室里的样品取出，并清理真空室，空机试一次。
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