英国Cressington离子溅射仪208HR溅射电流不稳定忽高忽低检修
1、故障现象：使用一段时间后，溅射电流变小
解决方法：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换，后者被油蒸汽污染，通过无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空。
2、故障现象：在使用一段时间以后，有着过低的真空。
解决方法：对溅射室中或管道内是否有油进行检查，能够使用汽油进行清洗。
3、故障现象：溅射电流不稳定忽高忽低
解决方法：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整。
4、故障现象：有着过低的真空
解决方法：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。
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仰光电子维修流程：
1、仰光维修收发部收到仪器后会与贵司确认仪器型号及其完好情况。
2、经过专用检测仪器检测其元器件损坏程度后仰光维修将出具详细报价单，并以传真或电子版的形式传至贵司送检人员处。
3、待仰光维修工程师检定报价后，若贵司同意报价，请签字盖章，用户接受报价日期将视为维修周期的开始，维修周期一般为接受之日起3-5个工作日(特殊情况另定)。
4、待仰光维修工程师检定报价后，若贵司不同意报价，仰光维修不收取任何费用，将仪器原封不动寄回贵公司。
5、仪器修复后，若贵司要求送检，仰光维修可根据客户需要送检。
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