安捷伦氦质谱检漏仪捡漏键无效故障如何排查？
氦质谱检漏仪检测开始时出现的故障：
1、检漏键无效(绿色指示灯亮)
检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。
2、检漏键无效(指示灯不亮)
I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。
氦质谱检漏仪自动校准结束时出现的故障
自动校准失败(灯丝亮)红色校准灯亮。首先检查自动校准设置，开关S1是否处于OFF位置，所设置的漏率值和标准漏孔值是否一致。温度传感器是否接上;其次是检查灵敏度，清洗质谱室(如果用外部校准漏孔检查显示值和实际值一致，氦质谱检漏仪也可使用)。
氦质谱检漏仪检漏时出现的故障：
1、不向细检方式转换，检漏口压力<2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明氦质谱检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。
2、灵敏度低。检查三极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。
3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台氦质谱检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大大减少了环境的氦污染。
4、工装设计不合理导致检漏通不过。初检时工作正常，工作几次后，抽速大大减慢，检漏不过;加死堵氦质谱检漏仪不漏，工作正常。这是因为工装设计不合理所致，比如工装结构不合理，内表面太粗糙，导致过多的氦气残留;或者密封设计不合理导致密封不可靠(由于工装设计人员对专业真空设计不熟悉)。
5、操作不合理导致故障。如工作中，有一个大漏的工件，由于操作人员判断错误，不认为工件漏，而去检查工装的连接或者氦质谱检漏仪，多次对这一工件检漏。这样就会发现，所有工件都不过。原因是大漏的工件经多次检漏后，有大量的氦气进入质谱室，造成质谱室污染。解决的办法是，清理质谱室，反复吸气排气。
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