激光干涉仪常见四种故障原因排查与检修
1、干涉环不圆正
原因:
(1)分光板膜层面反向。
(2)两组出射光瞳错位。
(3)分光板、补偿板、移动镜及参考镜有压应力。
检修方法:分光板膜层应是入射光的第二面，如装在第一面，则调出的等倾干圆涉环是直的椭圆形干涉环，可旋松分光板的三只宽头螺钉，取出分光板，反过180°重新装入金属框内，把三只宽头螺钉旋到原来的压紧力。分光板调整请参考故障检修方法。分光板，补偿板的宽头螺钉，移动镜及参考镜的调节滚花螺钉压紧 力过大，使各镜片逐步变形产生等倾干涉圆环不规则，适当放松过紧的 螺钉即可消除。
2、读数空位大于 0.03mm
原因:
(1)传动螺母和丝杆的配合间隙大。
(2)拖板体下面的顶块间隙偏大。
(3)档板与导轨配合过松。
检修方法:可先调整顶块间隙，拖板体在工作状态下旋松顶块螺钉，左手大拇 指将拖板体向读数头方向轻推，中指压紧顶块，然后固紧顶块螺钉。如果仍未达到要求，调整档板与导轨的间隙达 0.02mm，再调节传动螺母上 的两只螺钉(老产品有四只)。
3、 转动粗动手轮时拖板不走。
原因:
(1)仪器受强烈冲击后，丝杆向尾架方向脱出，造成读数头啮合齿轮错位。
(2) 传动小齿轮固紧螺母松动， 造成传动小齿轮与丝杆打滑。
(3)大齿轮及粗动手轮的压紧螺母松动。
检修方法:首先检查粗动手轮压紧螺母，然后检查精密丝杆是否向尾架方向脱出，如已脱出，可松动尾架三只螺钉，一面将丝杆推向读数头，一面慢慢转动粗动手轮，最后旋紧尾架三只螺钉，如果是小齿轮固紧螺母和大齿轮固紧螺母松动，先拆去传动盒盖，再拆下门字架，固紧螺母，重新依次装配即可。
4、转动微动手轮时拖板不走。
原因:
(1)传动小齿轮压紧螺母松，使盆形弹簧片无压紧力，造成 蜗轮空转。
(2)粗微动有脱开机构的干涉仪，蜗杆压紧弹簧片失灵。
(3)微动手轮压紧螺母松。
检修方法:先检查微动手轮的压紧螺母。然后打开传动盒盖，取下门字架，旋紧传动小齿轮压紧螺母，使盆形弹簧片压紧蜗轮，此时转动蜗轮应带动精密丝杆，依次装好拆下的另件。 如果是脱开机构，应检查蜗杆拖板是否已被压死。如被压死，可拆 下左右压块，清洗、上油(7101 油脂)重新装配即可，如蜗杆拖板较松，说明蜗杆拖板的弹簧压力减小，(1)可拆下弹簧改小 R 增加弹性。(2)调换弹簧片。
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